气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。息烽稀有气体由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，稀有气体充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为头一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。

高纯氩气主要用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等稀有气体氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求。一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用息烽稀有气体氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。

氦质谱检漏仪用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。是一种应用于国内外的真空容器检漏先进技术。与一般的检漏技术相比，息烽稀有气体氦质谱检漏技术快速、准确、灵敏度高及无损伤性等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。但通常选用氦气，因为氦气具有以下特性：氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一，易于发现；氦分子小、质量轻、易扩散、比其它气体易穿越漏孔；氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；氦气是无毒、无味，对大气无污染。稀有气体氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤设备；氦气无毒，不凝结，极难容于水。正因为氦气具有以上特性，所以氦气检漏应用已从科研院所到工业企业乃至到个体企业，可以说应用领域极其宽广。

三氯氢硅装卸方法为利用压缩机密闭状态装卸。用稀有气体压缩机抽出储罐中的三氯氢硅混合气体，压入槽车中，此时储罐内的压力降低，槽车内的压力升高，槽车和储罐间形成一定的压差，这样槽车内的三氯氢硅液体就借此压力被压送到储罐中，反之则将储罐中的三氯氢硅液体压送到槽车内。三氯氢硅卸液必须严格遵守操作规程，操作人员应掌握本岗位的操作技术和防火要求，精心操作，随时监控压力表、液位计;在卸液是发动机应熄火，息烽稀有气体储罐内的三氯氢硅应停止使用，并有专人监护，雷雨天停止卸液。在卸液过程中还容易产生静电，应采用材质好且光滑的运输管道;槽车装卸液前，设备、管道都要先接好静电接地线，必须保持有效长度的接地拖链;卸液时严格控制流速，流速应控制在0.7~2m/s，以防止产生静电。

氯气能杀菌，用于净化水质。还被用来处理某些工业废水，如对硫化氢、氰化物等进行氧化，消除其毒性。息烽稀有气体氯气可生产多种多样化工产品，用于制造塑料、农药、合成纤维、合成橡胶等，也用于生产氯化物、盐酸及含氯溶剂等。氯气还可用于生产最终不含氯的化工产品，如丙三醇(甘油)、乙二醇等。稀有气体乙炔气是有机合成的重要原料之一，也是三大合成材料(橡胶、塑料、纤维)的单体之一。在医药工业方面用于制造避孕药剂。在原子吸收分析仪上用作载气。溶解乙炔的重要用途是金属焊接与切割、喷镀、表面淬火和热加工等。此外，乙炔气最早的应用是用来照明，主要的使用场合为航标灯。